高频淬火设备感应淬火的回火其主要目的是降低淬火应力，避免产生淬火裂纹，有时回火也为了降低硬度，以达到工件技术要求。回火一般常用的有自回火、感应回火和炉中回火。
自回火只适用于加热后工件心部有足够残留热量的工件，并且些残留热传到淬硬层各点，应该是均匀的，否则工件自回火后淬火表面各区硬度不一致，甚至个别区域没有进行自回火。自回火的优点是省掉了一套回火设备。
感应回火在现代 感应加热装置中日趋扩大，其优点是可以在线生产，缩短生产周期，并且弥补了自回火未能解决的一些困难点。感应回火一般有两种方法：1.利用原来淬火加热电源，在原感应器装备下，用降低功率的办法来进行感应回火，这种方法的优点是一次装卸完成了淬火与回火工序，但因为占用了淬火工位，所以降低了淬火生产率。2.采用合适的较低频率的另一套电源与感应器进行回火，现在广泛采用这种方法。
炉中回火一般采用箱式炉回火，箱式炉的缺点是回火时间长，回火温度低。
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