高频淬火感应淬火件在淬火应力超过了材料屈服点时，就会出现塑性变形。在工艺与材料上采取相应的措施，可以将此变形量减少。与一般热处理工艺相比，感应淬火件的变形，由于加热快、硬化层浅，相对来说变形量是较小的。
感应淬火前的材料状态与感应淬火后的变形有直接关系
以锻钢曲轴为例，锻造后，一般经调质或正火处理，然后在机加工前进行校正工序。如果此预先热处理工序变形量大，校正后未消除应力，对感应淬火后的变形有极大影响。试验证明，机加工后的曲轴经过高温回火，消除了应力，感应淬火后的弯曲量大大减少。
拖拉机零件台车轴热轧圆钢，经正火处理，淬火后变形减少。
校正辊装置
感应淬火件在淬火时，有校正辊装置，淬火后变形量可大大减少，例如半轴、曲轴均有试验数据。曲轴在校正辊支承下进行淬火。
用预弯补偿变形弯曲
对钢轨、机床导轨面淬火，由于是单面淬火，淬火后硬化层体积增大，会使淬硬面凹下去。消除的办法有采用预弯的，即预先将淬火面鼓起来，使淬火后的凹下变形能相互抵消。
圆筒类薄壁零件
对圆筒类薄壁零件淬火加热时，外面有辅助喷液冷却，可减少内孔淬火后的变形。同样，汽车零件突缘、圆柱外表面需淬火，而内孔是花键，壁厚又很薄，外圆感应加热时，其内孔定位心轴会喷出冷却水，可减少内孔因外圆淬火而胀大。